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测量范围
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电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)；
电导率：0.005～1000 s/cm；
电阻：0.001～200Ω.cm；
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可测晶片厚度
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≤3mm |
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可测晶片直径
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140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)； |
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恒流源
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电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调 |
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数字电压表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；性、超量程自动显示； |
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四探针探头基本标
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间距：1±0.01mm；
针间缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)； |
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四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证) |
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模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行)
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0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整机测量zui大相对误差
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(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4% |
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整机测量标准不确定度
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≤4% |
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计算机通讯接口
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并口 |
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标准使用环境
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温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无频干扰；
无强光直射； |
