|
|
|
| |
公司新闻
您当前的位置： 首页 » 公司新闻 » 电子薄膜应力分布测试仪技术参数 |
|
|
|
| 电子薄膜应力分布测试仪技术参数 |
| 发布时间：2019-06-06 阅读：916次 |
|
电子薄膜应力分布测试仪 型号：BGS-6341
该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。
|
错位相移技术
|
|
计算机自动条纹处理
|
|
测试过程全自动
|
|
的曲面补偿测试原理
|
|
zui大样品尺寸
|
≤100mm (4英寸)
|
|
曲率范围
|
|R|≥5米
|
|
测试精度
|
5%
|
|
单片测量时间
|
3分钟/片
|
|
结果类型
|
面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
|
|
图形显示功能
|
三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
|
|
电源
|
AC 220V±10%, 50Hz±5%
|
|
zui大功耗
|
100W
|
|
外型尺寸(L×W×H)
|
285mm×680mm×450mm
|
|
重量
|
36kg
|
|
| |
| |
|
|
|
|
|
|
|
|
