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部件名称
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内容
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部件名称
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内容
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X方向移动
导轨类型
移动长度
直线精度
测量方式
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滑动导轨
200mm
0.5 μ m/100mm
光栅计数
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Z方向移动(立拄)
导轨类型
移动长度
驱动方式
测量方式
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滑动导轨
400mm
滚珠丝杠
编码器
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轮廓形状测量
传感器类别
测量范围
显示分辨率
相对误差
半径测量误差
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差动电感式
± 0.03mm，±0.5mm，±4mm
0.001μm,0.017μm,0.13μm 0.005FS
0.02-0.1 %
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附 件
三维调整工作台
旋转工作台
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水平、倾角、摆角调整
安装轴承
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粗糙度测量
测量参数
测量范围
显示分辨率
粗糙度测量误差
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GB3505规定所有参数
R a 0.01～10μm
65536:1
2%+4nm
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Y 向移动台（选购） 导轨类型
移动长度
直线精度
测量方式
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三维形貌测量用
滚动导轨
100mm
2 μ m/100mm
编码器
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可测量参数
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GB3505规定所有轮廓、波纹度和粗糙度参数，曲率半径、沟中心距、锁口高、凸度、
对数曲线、球基面、沟位置等轴承专用参数。
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硬件配置
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DELL品牌机、液晶显示器、打印机
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测量软件
软件平台
功能
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windowsXP
根据被测工件情况自动选取、自动校正、自动分析，可手动或自动循环测量、自动消除安装误差、手动或自动进行量程转换、直接显示所得形状及各种参数，并可打印输出。可以根据用户要求增减分析处理软件。
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