HAD-D07-7B型 质量流量控制器
仪器简介：
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
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满量程流量范围（N2）
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5SCCM～10SLM
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控制范围
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2～100％F.S.
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阀类型（及阀初始状态）
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电磁调节阀（常闭）
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准确度
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±1.5％F.S.
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线性
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±0.5～1.5％F.S.
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重复精度
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±0.2％F.S.
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响应时间
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≤7sec
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工作温度范围
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5～45℃
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工作压差
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0.1～0.5MPa
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耐压
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3MPa
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漏气率
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1×10-8atm.cc/sec He
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密封材料
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氟橡胶（或氯丁橡胶）
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电插头形式
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DB15 pin（Female）
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接头选择
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VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
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重量
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1.1Kg
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