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探针测试台技术指标
发布时间：2017-04-06 阅读：1066次
 技　术　指　标 ：
工作台面  370mm*245mm
载物台直径  4"
光学参数  总放大率：50-100倍；手轮调焦范围：60mm；升降调焦范围：200mm；
旋转台

 粗调范围：360°；微调范围：±10°；小刻划：1°；
 铜盘直径：Φ85mm；缘盘直径：Φ102mm
三维探针座  探针座X、Y、Z方向调节范围：±3.25mm，分辨率±2μ；
 三维探针座在工作台面可任意位置固定，由磁性开关控制；
 多可布三维探针座6个；
 探针臂伸出长度：60mm；
 探针长度：40mm；
探针   探针材质硬质合金，针尖曲率半径2μm；
 
 
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